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規(guī)范檢測(cè)潔凈設(shè)備的潔凈度對(duì)提高凈化產(chǎn)品的可信任度具有至關(guān)重要的作用，現(xiàn)提供潔凈工作臺(tái)與層流傳遞窗的規(guī)范潔凈度檢測(cè)的方法，以幫助使用者能正確規(guī)范的自檢。

一、檢測(cè)工具

建議參照美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E所示，使用粒子計(jì)數(shù)器檢測(cè)潔凈工作臺(tái)與層流傳遞窗的潔凈度，使用美國(guó)MetOne激光粒子計(jì)數(shù)器。

二、潔凈工作臺(tái)

1、檢測(cè)位置

潔凈工作臺(tái)分水平流型和垂直流型，檢測(cè)口分別為散流板正前方300mm位置和正下方300mm的位置。

2、參考標(biāo)準(zhǔn)

ISO14644-5(美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E，潔凈等級(jí)100級(jí))或按設(shè)計(jì)要求。微粒允許值：0.3um<300顆;0.5um<100顆

三、層流傳遞窗

1、檢測(cè)位置

無(wú)菌層流傳遞窗檢測(cè)口為散流板下方300mm的位置。

2、參考標(biāo)準(zhǔn)

ISO14644-5(美國(guó)聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn)209E，潔凈等級(jí)100級(jí))或按設(shè)計(jì)要求。微粒允許值：0.3um<300顆;0.5um<100顆