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隨著計算機、微電子和信息技術的發(fā)展，推動了電子制造業(yè)的飛速發(fā)展，也帶動了潔凈室技術的發(fā)展，同時對無塵室的設計提出了更高的要求，電子制造業(yè)的無塵車間設計是一項綜合的技術，只有充分了解電子制造業(yè)的無塵車間設計特點，做到設計合理，才能讓電子制造產(chǎn)業(yè)的產(chǎn)品次品率降低，提高生產(chǎn)效率。下面由山東盛之源凈化為大家介紹一下關于電子制造業(yè)無塵室的特點及規(guī)定:

潔凈度等級要求高,風量、溫度、濕度、壓差、設備排風按需受控,照度、無塵室截面風速按設計或規(guī)范受控，另外該類無塵室對靜電要求極其嚴格。其中對濕度的要求尤甚。因為過于干燥的廠房內極易產(chǎn)生靜電，造成CMOS集成損壞。一般來說，電子廠房的溫度應控制在22℃左右，相對濕度控制在50-60%之間(特殊潔凈車間有溫濕度規(guī)定)。這時可有效地消除靜電，并使人也感覺舒適。

芯片生產(chǎn)車間、集成電路無塵室和磁盤制造車間是屬于電子制造行業(yè)無塵室的重要組成部分，由于電子產(chǎn)品在制造、生產(chǎn)過程中對室內空氣環(huán)境和品質的要求極為嚴格，主要以控制微粒和浮塵為主要對象，同時還對其環(huán)境的溫濕度、新鮮空氣量、噪聲等作出了嚴格的規(guī)定。

1、電子制造廠萬級無塵室內的噪聲級(空態(tài))：不應大于65dB(A)、

2、電子制造廠無塵室垂直流無塵室滿布比不應小于60%，水平單向流無塵室不應小于40%，否則就是局部單向流了。

3、電子制造廠無塵室與室外的靜壓差不應小于10pa，不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應小于5pa

4、電子制造行業(yè)萬級無塵室內的新鮮空氣量應取下列二項中的**大值：補償室內排風量和保持室內正壓值所需的新鮮空氣量之和。

5、保障供給無塵室內每人每小時的新鮮空氣量不小于40m3。

6、電子制造行業(yè)無塵室凈化空調系統(tǒng)加熱器，應設置新風，超溫斷電保護，若采用點加濕時應設置無水保護，寒冷地區(qū)，新風系統(tǒng)應設置防凍保護措施。無塵室的送風量，應取下面三項**大值：保障電子制造廠無塵室空氣潔凈度等級的送風量;根據(jù)熱，濕負荷計算確定電子廠無塵室的送風量;向電子制造廠無塵室內供給的新鮮空氣量。